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手套箱常见故障及解决办法

1循环无法开启

原因：电压不稳造成变频器保护，导致无法开启循环。

办法：等电压稳定后重启手套箱即可解决。

2再生时用气量远小于从前

原因：手套箱内有机1溶剂含量过高，循环时有机1溶剂进入循环系统，再生时有机1溶剂堵塞再生气管路上的单向阀所致。

办法：①将单向阀换为直通阀，从此再生压力设置为0.03~0.04Mpa；②观察再生气流量计显示是否在20ml/min左右，否则调整减压阀压力。

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1、循环和分析仪同时关掉

原因：①箱内压力瞬间过高，超过+12mbar，系统自动保护；②电压不稳，造成系统保护。

办法：①检查压力设置是否正确、压力传感器是否异常，箱体真空阀或补1气阀是否损坏，压力回复正常后，再开启分析仪和循环。②检查真空泵是否坏掉，无法运行。

2、大、小仓无法补1气

原因：①手套箱内通往大小仓的气孔可能被塑料薄膜等堵塞；②电磁阀是否没有打开。

办法：①根据管路走向，确定气孔位置，疏通管路；②检查线路及电磁阀。

3、大小仓无法抽气

原因：①大小仓内抽气孔被塑料薄膜等堵塞或舱门漏气；②仓门没关紧，或是大小仓密封圈松动。

办法：①根据管路走向，确定气孔位置，疏通管路；②关紧仓门，检查大小密封圈；③检查工作气压是否过低（因为大仓抽气阀是气动阀）。

真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。放置样品时，需小心不要用手触摸过渡舱内壁，请佩戴手套取放样品。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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